MEMS 기술은 실리콘 기판 레벨에 위치한 기계적 요소, 센서, 액추에이터 및 전자 장치를 통합합니다. MEMS는 Micro Electro-Mechanical Systems의 약자입니다.
정의
MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)는 웨이퍼 규모로 제작된 소형 기계 및 전기 기계 부품과 관련된 기술을 의미합니다. 이를 통해 MEMS 기술을 칩에 내장할 수 있으며, 칩은 다른 전자 부품과 마찬가지로 인쇄 회로에 통합될 수 있습니다.
이 장치는 통합된 마이크로 전자 장치에 의해 제어되는 전기 기계 요소(이동 및 고정)로 구성됩니다.
MEMS의 핵심 구성 요소에는 소형 구조, 센서, 액추에이터 및 마이크로 전자 장치가 포함됩니다. 마이크로센서 및 마이크로 액추에이터는 기계적 신호를 전기 신호로 변환하는 장치인 트랜스듀서로 분류됩니다.
MEMS 애플리케이션
MEMS는 운송, 통신 및 의료와 같은 분야의 발전에 핵심적인 기술임이 입증되었습니다.
Micro Electro-Mechanical Systems 센서는 현재 스마트폰 및 게임 장치와 같은 소비자 등급 애플리케이션에도 널리 사용되지만 자동차, 항공 우주 및 기타 애플리케이션용으로 개발된 더 높은 품질의 MEMS 장치에 대한 큰 시장도 존재합니다.
센서 등급
센서 등급은 부품의 품질을 나타내며 이는 신뢰성의 좋은 지표입니다. 일반적으로 소비자, 산업, 전술, 항법, 군사 등급으로 구분되는 척도입니다.
센서 등급이 높을수록 정확도가 높아지고 가격도 높아집니다. 관성 장치의 경우 이 분류는 가속도계의 g당 드리프트와 자이로스코프의 초당 도 단위로 표시됩니다.
소비자 등급 vs 산업 등급
소비자 등급 센서와 산업 등급 센서는 서로 다른 요구 사항을 충족합니다. 산업 등급 센서의 주요 강점은 신뢰성이며, 소비자 등급 센서는 더 저렴한 가격으로 더 넓은 측정 범위를 제공합니다.
자이로스코프 범위는 센서의 등급을 나타냅니다. 일반적으로 자이로스코프와 가속도계는 동일한 등급입니다.