MEMSテクノロジーは、機械要素、センサー、アクチュエーター、および電子回路をシリコン基板レベルに集積したものです。MEMSは、Micro Electro-Mechanical Systemsの略です。
定義
Micro-Electro-Mechanical Systems（MEMS）とは、ウェハースケールで構築された小型の機械部品および電気機械部品を含む技術を指します。これにより、MEMSテクノロジーをチップに組み込むことができ、他の電子部品と同様に、プリント回路に統合できます。
このデバイスは、集積マイクロエレクトロニクスによって制御される電気機械要素（可動および固定）で構成されています。
MEMSのコアコンポーネントには、小型化された構造、センサー、アクチュエーター、およびマイクロエレクトロニクスが含まれます。マイクロセンサーとマイクロアクチュエーターは、機械信号を電気信号に変換するデバイスであるトランスデューサーとして分類されます。
MEMSアプリケーション
MEMSは、輸送、電気通信、ヘルスケアなどの分野における開発を可能にする重要なテクノロジーであることが証明されています。
Micro Electro-Mechanical Systemsセンサーは、スマートフォンやゲームデバイスなどのコンシューマーグレードのアプリケーションでも広く使用されていますが、自動車、航空宇宙、その他のアプリケーション向けに開発された、より高品質なMEMSデバイスの大きな市場もあります。
センサーグレード
センサーグレードは、コンポーネントの品質を表し、信頼性を示す良好な指標となります。通常、コンシューマー、インダストリアル、タクティカル、ナビゲーション、ミリタリーのカテゴリーに分類されるスケールです。
センサーのグレードが高いほど、精度は高くなり、価格も高くなります。慣性デバイスの場合、この分類は、加速度計のg単位でのドリフトと、ジャイロの度/秒単位でのドリフトに基づいています。
コンシューマーグレード vs 工業用グレード
コンシューマーグレードと工業用グレードのセンサーは、異なるニーズに対応します。工業用グレードのセンサーの主な強みはその信頼性であり、コンシューマーグレードのセンサーはより広い測定範囲を低価格で提供します。
ジャイロスコープの範囲は、センサーのグレードを示します。通常、ジャイロスコープと加速度計は同じグレードです。