A tecnologia MEMS integra elementos mecânicos, sensores, atuadores e eletrônicos localizados em um nível de substrato de silício. MEMS significa Sistemas Micro Eletromecânicos.
Definição
Sistemas Microeletromecânicos (MEMS) referem-se a uma tecnologia que envolve componentes mecânicos e eletromecânicos miniaturizados construídos na escala de wafers. Isso permite que a tecnologia MEMS seja incorporada em chips, que podem então ser integrados em circuitos impressos, semelhantes a outros componentes eletrônicos.
Os dispositivos consistem em elementos eletromecânicos (móveis e estacionários) controlados por microeletrônica integrada.
Os componentes principais dos MEMS incluem estruturas miniaturizadas, sensores, atuadores e microeletrônica. Microssensores e microatuadores são classificados como transdutores, dispositivos que convertem sinais mecânicos em sinais elétricos.
Aplicações MEMS
Os MEMS provaram ser uma tecnologia essencial para desenvolvimentos em áreas como transporte, telecomunicações e saúde.
Os sensores de Sistemas Micro Eletromecânicos agora também são amplamente utilizados em aplicações de nível de consumidor, como smartphones e dispositivos de jogos, mas também existe um grande mercado para dispositivos MEMS de alta qualidade, desenvolvidos para aplicações automotivas, aeroespaciais e outras.
Nível do sensor
O nível do sensor representa a qualidade do componente, que é um bom indicador de sua confiabilidade. É uma escala que geralmente é separada nas seguintes categorias: Consumidor, Industrial, Tático, Navegação, Militar.
Quanto maior o nível do sensor, mais preciso ele é e maior é o preço. Para dispositivos inerciais, esta classificação é baseada no drift em g para os acelerômetros e em graus por segundo para os giroscópios.
Grau de consumo vs grau industrial
Sensores de grau de consumo e industrial atendem a necessidades diferentes. A principal força dos sensores de grau industrial é sua confiabilidade, enquanto os sensores de grau de consumo têm uma faixa de medição mais ampla por um preço mais baixo.
A faixa do giroscópio indica o grau do sensor. Normalmente, os giroscópios e acelerômetros são do mesmo grau.