La tecnologia MEMS integra elementi meccanici, sensori, attuatori ed elettronica su un substrato di silicio. MEMS sta per Micro Electro-Mechanical Systems.
Definizione
Il termine Micro Systems (MEMS) si riferisce a una tecnologia che prevede componenti meccanici ed elettromeccanici miniaturizzati costruiti su scala di wafer. Ciò consente alla tecnologia MEMS di essere incorporata in chip, che possono poi essere integrati in circuiti stampati, in modo simile ad altri componenti elettronici.
I dispositivi sono costituiti da elementi elettromeccanici (sia mobili che fissi) controllati da microelettronica integrata.
I componenti principali dei MEMS comprendono strutture miniaturizzate, sensori, attuatori e microelettronica. I microsensori e i microattuatori sono classificati come trasduttori, dispositivi che convertono i segnali meccanici in segnali elettrici.
Applicazioni MEMS
I MEMS si sono rivelati una tecnologia abilitante fondamentale per gli sviluppi in settori quali i trasporti, le telecomunicazioni e la sanità.
I sensori dei sistemiMicro sono ora ampiamente utilizzati anche in applicazioni di tipo consumer, come gli smart-phone e i dispositivi di gioco, ma esiste anche un ampio mercato per i dispositivi MEMS di qualità superiore, sviluppati per l'industria automobilistica, aerospaziale e altre applicazioni.
Grado del sensore
Il grado del sensore rappresenta la qualità del componente, che è un buon indicatore della sua affidabilità. È una scala che di solito è suddivisa nelle seguenti categorie: Consumer, Industrial, Tactical, Navigation, Military.
Più alto è il grado del sensore, più preciso è e più alto è il prezzo. Per i dispositivi inerziali, questa classificazione si basa sulla deriva in g per gli accelerometri e in gradi al secondo per i giroscopi.
Grado consumer contro grado industriale
I sensori di livello consumer e industriale rispondono a esigenze diverse. Il principale punto di forza dei sensori di livello industriale è la loro affidabilità, mentre i sensori di livello consumer hanno un intervallo di misurazione più ampio a un prezzo inferiore.
L'intervallo del giroscopio indica il livello del sensore. Di solito i giroscopi e gli accelerometri sono dello stesso livello.